表面微机械加速度计原理及机械故障诊断应用

介绍了表面微机械加速度计的工作原理、性能指标及应用特性。在机械故障诊断应用实例中,提供了正常和故障状态的时域波形。通过波形比较和频域仿真分析,展示了该加速度计作为振动测量手段的重要性。