一种实现CCD亚像元位移分辨率的新方法

被引：7

作者：

姚新程

李兆霖

郭红莲

程丙英

张道中

机构：

[1] 中国科学院物理研究所和凝聚态物理中心光物理实验室,中国科学院物理研究所和凝聚态物理中心光物理实验室,中国科学院物理研究所和凝聚态物理中心光物理实验室,中国科学院物理研究所和凝聚态物理中心光物理实验室,中国科学院物理研究所和凝聚态物理中心光物理实验室北京

来源：

仪器仪表学报 | 2002年 / 01期

关键词：

CCD; 亚像元; 光; 镊;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2002.01.015

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

摘要：

基于 CCD子窗口内四个像限的光积分量随目标位置而变化的机理 ,可从摄取的 CCD数字图像提取目标的位移信号 ,本文提出一种新的方法可实现目标位移探测的亚像元分辨率。理论及实验结果表明 ,对于直径为 1μm的球体而言 ,在± 40 0 nm的范围内 ,光积分量的变化同球体的位移关系具有良好的线性度。物方和像方位移分辨率分别可达 1nm和 1/ 3 0个像元宽度 ,可满足光镊系统位移测量要求。

引用

页码：60 / 63

页数：4

共 6 条

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