共 1 条
化学气相沉积法制备金刚石膜截面微区Raman分析
被引：11
作者：
王冠中
叶峰
常超
章应辉
方容川
机构：
[1] 中国科学技术大学结构分析开放实验室!合肥
[2] 中国科学技术大学物理系!合肥
[3] 中国科学技术大学化学物理系!合肥
来源：
关键词：
金刚石膜;
Raman;
宝石;
生长面;
非晶碳;
化学气相沉积法;
微区;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304.055 [];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
采用微区Ｒａｍａｎ 散射分析方法研究化学气相沉积法制备的金刚石膜的横截面．金刚石膜从衬底面到生长面不同位置具有不同特征的Ｒａｍａｎ 谱，依此对膜中的金刚石、石墨和非晶碳成分进行分析．衬底面附近区域对应金刚石膜生长过程的成核阶段，非晶碳成分含量较高，相应于１２００ —１６００ ｃｍ － １ 波段较大的散射强度和存在较强的荧光背底．膜厚增大，非晶碳成分中ｓｐ３ 结构成分首先减少，而ｓｐ２ 结构成分和石墨成分的减少相对缓慢．而生长面附近区域只有比较单纯的晶体金刚石Ｒａｍａｎ 峰．激发光沿平行于金刚石膜面扫描所得到的Ｒａｍａｎ 谱，显示了金刚石晶粒与晶界区域结构和成分的差别
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页码：2382 / 2388
页数：7
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