利用误差谐波补偿法提高金属圆光栅测角精度

被引：44

作者：

赵人杰 ^{[1
,2
]}

马文礼 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 中国科学院研究生院

来源：

仪器仪表用户 | 2009年 / 16卷 / 03期

关键词：

金属圆光栅; 误差谐波补偿法; 测角精度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN253 [光纤元件];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

提高圆光栅测角精度的方法除了提高分辨率和系统精度以外,广泛采用误差补偿方法。本文通过对新型金属圆光栅的研究,提出了一种基于软件的误差补偿方法——误差谐波补偿法。实验表明该方法可消除一定阶次内幅值和初相位不随时间变化的误差谐波,有效提高测角精度。

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页码：69 / 71

页数：3

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