基于惯性-摩擦原理的PZT驱动四自由度微驱动器的研究

被引：17

作者：

迟冬祥

颜国正

丁国清

机构：

[1] 上海交通大学电子信息学院精密工程及智能微系统研究所!上海

来源：

光学精密工程 | 2001年 / 02期

关键词：

惯性; 压电陶瓷; 微驱动器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP242 [机器人];

学科分类号：

1111 ;

摘要：

提出了一种由 PZT驱动、基于惯性 -摩擦原理的四自由度驱动器方案 ,在原理实验的基础上制作了四自由度驱动器的原型 ,并讨论了这一微驱动器的运动特点。实验证明 :这一原理应用于微驱动器是可行的。压电陶瓷的通电频率处于 0 Hz～ 30 0 0 0 Hz时微驱动器的运动是线性可控的。同时 ,也讨论了驱动器设计中应该注意的问题及其未来的研究方向

引用

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