柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展

被引：13

作者：

郝晓涛

张德恒

马瑾

杨莺歌

王卿璞

程传福

田茂华

马洪磊

机构：

[1] 山东大学物理与微电子学院

[2] 山东师范大学物理系

来源：

关键词：

柔性衬底; 氧化物半导体; 透明导电膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜 (包括锡掺杂的三氧化二铟ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等 )的研究进展情况。报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系 ,给出了在此领域内应进一步进行的工作

引用

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