激光薄膜缺陷研究

被引：6

作者：

凌秀兰

黄伟

孔明东

张云洞

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 中国科学院光电技术研究所四川成都

[3] 四川成都

来源：

光学仪器 | 2004年 / 02期

关键词：

缺陷; 光学薄膜; 激光损伤; 损伤阈值;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.4 [薄膜的性质];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

薄膜缺陷是影响薄膜元件抗激光损伤的重要因素之一,长期以来一直是人们关注和研究的问题。首先介绍了薄膜缺陷的种类、特点及成因。在此基础上,分析了缺陷对激光损伤阈值的影响以及激光预处理对缺陷的影响。最后,对于如何减少缺陷和提高损伤阈值作了讨论。

引用

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页码：178 / 182

页数：5

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共 1 条

[1]

Nanosecond UV laser damage and ablation from fluoride crystals polished by different techniques[J] . M. Reichling,J. Sils,H. Johansen,E. Matthias.Applied Physics A Materials Science & Processing . 1999 (1)