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中心遮拦干涉图的处理
被引:6
作者
:
论文数:
引用数:
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机构:
张圣华
张晓辉
论文数:
0
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0
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0
机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所
张晓辉
韩昌元
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机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所
韩昌元
机构
:
[1]
中国科学院长春光学精密机械研究所
来源
:
光学学报
|
1998年
/ 10期
关键词
:
中心遮拦,干涉图处理,泽尼特多项式;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O436.1 [干涉与衍射];
学科分类号
:
摘要
:
介绍了一种用于中心遮拦的大口径干涉仪的干涉条纹处理软件。该软件通过对干涉数据进行采集、处理而得出被检波面的波差分布和像差。由于对干涉图数据拟合过程中所使用的泽尼特(Zernike)多项式进行了修正,因此得到的结果的准确度也有了较大的提高
引用
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页码:125 / 128
页数:4
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