中心遮拦干涉图的处理

被引:6
作者
张圣华
张晓辉
韩昌元
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
关键词
中心遮拦,干涉图处理,泽尼特多项式;
D O I
暂无
中图分类号
O436.1 [干涉与衍射];
学科分类号
摘要
介绍了一种用于中心遮拦的大口径干涉仪的干涉条纹处理软件。该软件通过对干涉数据进行采集、处理而得出被检波面的波差分布和像差。由于对干涉图数据拟合过程中所使用的泽尼特(Zernike)多项式进行了修正,因此得到的结果的准确度也有了较大的提高
引用
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