基于p偏振光双面反射的薄膜传感器光学参数的优化

被引：2

作者：

顾铮先

梁培辉

刘晓林

张伟清

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海

来源：

光学学报 | 1999年 / 11期

关键词：

p偏振光; 反射比; 光学参数; 溶胶-凝胶; 薄膜传感器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.14 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

ｐ偏振光在镀膜平板玻璃上、下表面反射光强比γ的角度调制曲线的性状与膜层光学参数密切相关。分析了γ与膜层折射率、消光系数及膜厚的相对梯度随光学参数变化的关系，为基于ｐ偏振光双面反射的薄膜传感器选择最佳参数提供了理论依据，计算表明该类型传感器对膜层折射率的测量分辨率高达１０－７。对不同工艺条件下得到的溶胶－凝胶ＳｎＯ２膜进行光学参数测定及初步气敏实验，结果表明ｐ偏振光双面反射可作为高灵敏度光化学传感器的检测方法。

引用

页码：1556 / 1562

页数：7

共 5 条

[1] 氨处理溶胶-凝胶SnO2薄膜的光学性质 [J].

刘晓林 ;

梁培辉 ;

张伟清 ;

顾铮先 ;

李毛和 .

光学学报, 1999, (04) :93-96

[2] 玻璃表面层光学参数分布的研究 [J].

刘晓林 ;

梁培辉 ;

张伟清 ;

叶韧 ;

雷建求 .

光学学报, 1997, (08) :165-170

[3] 研究玻璃表面层参数的一种新方法——平板双面偏振光反射光强比的测量 [J].

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马燕燕 ;

杨本祺 ;

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光学学报, 1985, (01) :55-60

[4]

Optical profile of surface layers on a float glass determined by ellipsometry..Dugoille B; Vilet O;.Applied Optics.1994,

[5]

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