改进型二维位置敏感探测器示值误差的标定

被引：1

作者：

袁江 ^{[1
]}

邱自学 ^{[2
]}

机构：

[1] 南通大学机械工程学院

[2] 南通大学

来源：

关键词：

PSD传感器; 示值误差; 标定;

D O I：

10.16567/j.cnki.1000-7008.2007.01.036

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对PSD传感器示值误差较大的缺点,设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统,运用误差理论对传感器位置测试数据进行了标定修正。试验结果表明,PSD传感器A区的示值误差可减小到±0·02mm内。

引用

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