TA2纯钛表面微弧氧化膜的成分和相结构分析

采用交流微弧氧化方法,在铝酸盐溶液中的TA2纯钛表面沉积一层厚度达30μm的氧化物陶瓷膜,并用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)、Raman光谱研究了氧化膜的成分和相结构。研究表明:该氧化膜具有内外两层结构,分别厚约15μm;氧化膜由TiAl2O5相和金红石型TiO2相组成,但外层膜里TiAl2O5相含量比内层膜里高得多,金红石则主要分布在膜内层里;来自溶液的铝原子已扩散到膜/钛基体界面,但膜外层的铝含量比内层高得多;微弧放电区瞬间高温高压过程对纯钛基体没有影响,Al,O原子都没有扩散进入未氧化的钛基体。