激光自混合显微系统的设计及实验研究

被引：2

作者：

杨新建

朱钧

刘刚

张书练

机构：

[1] 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京,北京,北京,北京

来源：

光学学报 | 2004年 / 03期

关键词：

应用光学; 显微镜; 激光; 自混合干涉效应;

D O I：

暂无

中图分类号：

O439 [应用光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

论述了自混合干涉技术的发展历程 ,并引入了自混合干涉显微技术的实验原理和研究近展 ;建立了He Ne激光自混合干涉实验装置系统 ,获得了稳定的激光功率输出。然后 ,对基于激光自混合干涉技术的显微镜进行了研究 ,并详细给出了该系统的设计原理、装调方法和实验结果 ,得到了玻璃小球的三维形体信息图像。系统达到的横向分辨力 1μm ,纵向分辨力为 15nm。上述实验结果证明自混合显微镜在微小物体的高精度形貌成像方面有着很大的潜力。

引用

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