光寻址电位传感器的机理研究

被引:12
作者
梁卫国
韩泾鸿
机构
[1] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室!北京
关键词
光寻址电位传感器; 少数载流子; 电解质溶液;
D O I
10.16818/j.issn1001-5868.2001.03.009
中图分类号
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
从半导体物理学及电化学的角度对光寻址电位传感器 (LAPS)的机理进行了较为深入的研究。详细阐述了LAPS的基本构造 ,并通过分析LAPS的电路模型及少数载流子的影响得出了各种参数对LAPS的影响 ,从而为制造高性能的LAPS提供了理论基础。
引用
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页码:184 / 187+210 +210
页数:5
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共 1 条
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半导体物理学.[M].刘恩科等编;.国防工业出版社.1994,