金属铜纳米孔洞阵列膜制备方法研究

被引：8

作者：

赵信峰

方炎

机构：

[1] 北京市纳米光电子学重点实验室,首都师范大学物理系

来源：

物理学报 | 2006年 / 07期

基金：

北京市自然科学基金;

关键词：

AAO模板; 真空蒸镀; 金属铜纳米孔洞阵列膜; 纳米复制;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

以多孔阳极氧化铝膜(anodicaluminumoxide,AAO)为模板,用真空蒸镀法复制了金属铜的纳米孔洞阵列膜,SEM结果表明,制备得到的金属铜纳米孔洞阵列膜形貌与AAO膜一致.此方法简单易行,能大规模生产,为纳米膜的工业化复制提供了一种新的工艺,为纳米线、纳米管等纳米阵列材料的合成与组装提供了有利的条件.

引用

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