基于广义回归径向神经网络的工业超纯水智能远程运维系统

被引:2
作者
沈洁
机构
[1] 北京邮电大学电子工程学院
关键词
智能远程控制; 超纯水有机碳含量(TOC); 径向基神经网络(RBN); 广义回归神经网络(GRNN);
D O I
10.16543/j.2095-641x.electric.power.ict.2019.05.003
中图分类号
TP183 [人工神经网络与计算]; TN872 [呼叫设备];
学科分类号
080906 [电磁信息功能材料与结构]; 140502 [人工智能];
摘要
为了满足通过远程运维系统控制电力、电子等制造业用水等质量,降低能耗的要求,文章针对电子工业超纯水制造,构建了超纯水智能化远程运维系统,利用径向基神经网络和广义回归神经网络对超纯水出水水质进行拟合预测。通过数据分析,采用上述算法实现了对超纯水系统的精确预测,以及智能自适应控制,提升了算法精度和收敛速度。结果表明,在所建模型仿真基础上,通过回水利用、变频调速,达到提升产水质量和节能降耗的目的。
引用
收藏
页码:13 / 18
页数:6
相关论文
共 13 条
[1]
浸没式光刻机超纯水处理系统的研制.[D].冯浩.浙江大学.2016,
[2]
半导体晶元厂厂务制程相关系统改进 [D]. 
张云秀 .
上海交通大学,
2008
[3]
半导体工业超纯水的技术指标及其制备概述 [J].
薛张辉 .
广东化工, 2018, 45 (21) :62-63
[4]
人工智能技术的发展与应用 [J].
贺倩 .
电力信息与通信技术, 2017, 15 (09) :32-37
[5]
深度学习框架下LSTM网络在短期电力负荷预测中的应用 [J].
陈亮 ;
王震 ;
王刚 .
电力信息与通信技术, 2017, 15 (05) :8-11
[6]
某工厂超纯水处理技术能耗分析案例 [J].
刘洁 .
节能与环保, 2017, (04) :64-65
[7]
云计算架构下基于BP神经网络负载预测策略的研究 [J].
王晨辉 ;
张晓亮 ;
梁晓传 .
电力信息与通信技术, 2016, 14 (11) :46-50
[8]
面向智能电网应用的云计算架构研究 [J].
樊邦奎 ;
丁冠军 ;
兰海滨 ;
龙腾 ;
刘岩 ;
王晶 .
电力信息与通信技术, 2014, 12 (01) :1-6
[9]
PLC冗余控制在超纯水控制系统中的应用 [J].
张凤西 ;
郑萍 ;
吴晨 ;
冯济武 ;
刘江 .
自动化与仪表, 2013, 28 (11) :44-47
[10]
超纯水处理PLC控制系统设计 [J].
何银平 ;
唐建国 ;
傅成华 .
电工技术, 2008, (03) :32-34