膜系结构对激光损伤阈值的影响

被引:4
作者
吴周令
范正修
机构
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所
关键词
光学薄膜; 激光损伤; 光学损耗;
D O I
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中图分类号
学科分类号
摘要
本文以TiO2/SiO2及ZrO2/SiO2膜系为例,研究了A(HL)mHG、A[(2p+1)HL]m(2p+1)HG以及A[H(2q+1)L]mHG等不同膜系结构对激光损伤阈值的影响.同时结合光学损耗测量及保护膜厚度效应研究,对光学薄膜的激光损伤机理作了初步探讨.
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页数:6
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