纳米测量中的光栅信号细分技术

被引：2

作者：

程方

范光照

刘玉圣

机构：

[1] 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

来源：

工业计量 | 2006年 / 03期

关键词：

纳米测量; LDGI; 信号处理;

D O I：

10.13228/j.boyuan.issn1002-1183.2006.03.011

中图分类号：

TH822 [位移测量仪表];

学科分类号：

摘要：

文章介绍了一种高精度位移测量方法,以LabVIEW作为工具,对高精度线性衍射光栅干涉仪(LDGI)的正交弦波信号进行采集、处理和分析,进行准确、快速的计数和细分,计算出精确的位移,并进行方向判断。以软件进行信号处理、位移计算,并对可能存在的信号异常进行纠错,简化了硬件,减少了电气环节引入的干扰。实验数据表明:该方法有效地进行高精度位移测量,标准差在20nm以下。

引用

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