共 1 条
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微细加工技术.[M].蒋欣荣编著;.电子工业出版社.1990,
微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究
被引：2
作者：
任泰安
秦东晨
祁建中
机构：
[1] 河南机电高等专科学校
[2] 郑州工业大学
来源：
关键词：
微型齿轮;
微细加工;
光刻;
D O I：
10.16578/j.issn.1004.2539.1998.04.013
中图分类号：
TG61 [齿轮加工及齿轮机床];
学科分类号：
080201 ;
摘要：
本文研究了在紫外光光刻条件下用微细加工方法研制微型齿轮的加工工艺 ,对加工过程进行了分析 ,加工水平已达到准LIGA水平
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