未找到相关数据
电容测微仪动态特性的改进及标定方法
被引：17
作者：
张宇华
王晓琳
张国雄
郑义忠
机构：
[1] 北京理工大学光电工程系,山东工业大学机械工程学院,天津大学精密仪器与光电子工程学院
来源：
基金：
高等学校博士学科点专项科研基金;
关键词：
滤波电路；频率响应；电容测微仪；标定;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH822 [位移测量仪表];
学科分类号：
120111 [工业工程];
摘要：
目的对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进．方法以８阶Ｂｕｔｔｅｒ－ｗｏｒｔｈ滤波器ＭＡＸ２９１为核心元件，设计了该系统的动态测量电路，提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法．结果与结论改进后的电容测微仪在±１０μｍ的量程内非线性误差最大不超过０．８０％，重复性精度优于０．１５％，测量精度优于０．１０μｍ，频响范围达４．２ｋＨｚ．
引用
收藏
页数：5
相关论文