M-AlN太阳选择性吸收涂层的研制

为提高在高温条件下选择性吸收涂层的性能 ,采用金属粒子注入介质基体中形成的金属陶瓷 ( cermet)作吸收材料 ,制成金属陶瓷复合薄膜 ,它具有优良的光学性能和热稳定性。根据对金属陶瓷膜系的光学性能进行理论计算的结果 ,采用磁控多靶反应共溅射的方法对膜系进行反演寻优工艺实验。实验结果表明 ,优化后的涂层吸收率 α>0 .9,发射率 ε( 35 3K) <0 .1。当温度高于 35 0℃时性能稳定 ,吸收率α变化不大 ,而发射率ε不超过 0 .1。与多层渐变吸收涂层相比 ,金属陶瓷选择性吸收涂层具有膜系结构简单、高温条件下性能稳定、发射率较低等优点。该涂层适用于低倍聚光真空管集热器。