多层喷射沉积规律

被引：16

作者：

陈振华，黄培云，蒋向阳，杨伏良，周多三

机构：

[1] 长沙中南工业大学非平衡材料科学与工程研究所

来源：

基金：

湖南省自然科学基金;

关键词：

多层喷射沉积，单次喷射沉积，最佳沉积条件，工艺参数;

D O I：

10.19476/j.ysxb.1004.0609.1995.04.018

中图分类号：

TG174.442 [喷镀法];

学科分类号：

080503 ;

摘要：

对多层喷射沉积规律进行了研究。结果表明，多层喷射沉积工艺的最佳沉积条件取决于喷射距离、基体和加热坩埚的运动速度、金属液体的过热温度以及气体与金属液体的质量比等工艺参数。多层喷射沉积工艺和传统的单次喷射沉积工艺相比，易于实现最佳沉积条件。

引用

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