激光基准在机床工作台误差自动校正中的应用

本文提出了一种以激光为基准机床运动误差自动校正技术。为了对激光束进行准直，利用光纤和半导体激光调制技术，形成激光束准直系统，使用四象限探测器接收激光束，可以消除杂散光、激光束漂移的影响。以准直后的漱光束为基准，四象限探测器在线探测机床工作台直线运动误差，然后利用反馈系统驱动压电晶体自动校正误差，实现误差自动补偿。