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一种基于PSD红外线位置传感器的设计
被引：10
作者：
钟平
续志军
机构：
[1] 东华大学理学院应用物理系
[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
来源：
关键词：
位置敏感器件;
位置检测;
红外传感器;
背景光;
D O I：
10.13873/j.1000-97872005.05.019
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
在介绍位置敏感器件(PSD)基本原理的基础上,提出一种以PSD为核心器件,应用于纠偏系统的红外线位置传感器的设计方法。介绍了该传感器的结构和测位原理,给出了硬件和软件的相关设计,分析了影响该传感器检测位置精度的因素,并提出了相应的解决办法。该位移传感器可检测的物体的最大运动位移为±18.5mm,检测精度优于0.1mm,采样频率可达1.5kHz。
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