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微光学元件、系统和应用.[M].(瑞士)H.P.赫尔齐克(HansPeterHerzig)主编;周海宪等译;.国防工业出版社.2002,
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先进光学制造技术.[M].杨力主编;.科学出版社.2001,
超精密机械加工技术在微光学元件制造中的应用
被引：57
作者：
杨元华
陈时锦
程凯
孙西芝
机构：
[1] 哈尔滨工业大学机电学院精密工程研究所
[2] 哈尔滨工业大学机电学院精密工程研究所 哈尔滨
[3] 哈尔滨
来源：
关键词：
超精密加工;
微光学;
D O I：
暂无
中图分类号：
TG506 [金属切削加工工艺];
学科分类号：
080101 [一般力学与力学基础];
摘要：
超精密机械加工技术作为微光学元件的一种制造方法,具有很多其他传统方法所不具有的优点。本文回顾了超精密机械加工技术的发展,展望了其在微光学元件加工中的应用潜力。
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