单极板微位移电容传感器结构设计与优化

被引：11

作者：

冯佳 ^{[1
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李佩玥 ^{[1
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尹志生 ^{[1
]}

隋永新 ^{[1
]}

杨怀江 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

[2] 中国科学院大学

来源：

传感器与微系统 | 2014年 / 07期

关键词：

电容传感器; 电磁仿真; 参数化建模; 优化设计; CST;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

140102 [集成电路设计与设计自动化];

摘要：

根据单极板微位移电容传感器结构优化设计的问题,提出了一种基于纵横推进法的电磁场仿真参数化建模方法。在建立合理的单极板电容传感器电磁仿真参数模型基础上,首先通过仿真实验选择保护环和绝缘层缺口的最优值。然后依据仿真得到的最优值,选择结构与最优值接近的电容传感器产品对比,取得了较好的研究结果,电容仿真值与实际测量值误差小于0.3%。最后对电容传感器极板倾斜对测量结果的影响进行了研究,极板倾斜2°时测量误差为1.6%。电容传感器结构优化结果满足实际工程要求。

引用

页码：63 / 66

页数：4

共 8 条

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