低温烧结低介硅灰石瓷料的研制

被引:29
作者
蔡伟
江涛
谭小球
魏群
李燕
机构
[1] 华南理工大学电子材料与元器件系
[2] 广州杰赛科技发展有限公司
[3] 广州杰赛科技发展有限公司 广东广州
[4] 广东广州
关键词
硅灰石; 粘土; 二氧化硅; 低温烧结; 介电常数;
D O I
10.14106/j.cnki.1001-2028.2002.02.006
中图分类号
TM281 [绝缘陶瓷和其他类似的材料];
学科分类号
080803 ;
摘要
通过对实验试样的差热分析及XRD分析,得知烧结过程中液相的存在可促使氧化钙与氧化硅形成硅灰石相。硅灰石瓷配方中SiO2过量(w≤10%)及粘土的w≤10%时能有效地降低烧成温度(1 170 1 230℃)。研制瓷料介电性能:er = 7.0~9.0,tgd =(1.0~5.0)104,rv≥(2.0~5.0)1013Ω·cm,aε为(0±30)106℃1。
引用
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