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低温烧结低介硅灰石瓷料的研制
被引:29
作者
:
蔡伟
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机构:
华南理工大学电子材料与元器件系
蔡伟
江涛
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机构:
华南理工大学电子材料与元器件系
江涛
谭小球
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机构:
华南理工大学电子材料与元器件系
谭小球
魏群
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机构:
华南理工大学电子材料与元器件系
魏群
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机构:
李燕
机构
:
[1]
华南理工大学电子材料与元器件系
[2]
广州杰赛科技发展有限公司
[3]
广州杰赛科技发展有限公司 广东广州
[4]
广东广州
来源
:
电子元件与材料
|
2002年
/ 02期
关键词
:
硅灰石;
粘土;
二氧化硅;
低温烧结;
介电常数;
D O I
:
10.14106/j.cnki.1001-2028.2002.02.006
中图分类号
:
TM281 [绝缘陶瓷和其他类似的材料];
学科分类号
:
080803 ;
摘要
:
通过对实验试样的差热分析及XRD分析,得知烧结过程中液相的存在可促使氧化钙与氧化硅形成硅灰石相。硅灰石瓷配方中SiO2过量(w≤10%)及粘土的w≤10%时能有效地降低烧成温度(1 170 1 230℃)。研制瓷料介电性能:er = 7.0~9.0,tgd =(1.0~5.0)104,rv≥(2.0~5.0)1013Ω·cm,aε为(0±30)106℃1。
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低介电常数陶瓷复合基板材料
[J].
田民波,梁彤翔
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机构:
清华大学材料科学与工程系
田民波,梁彤翔
.
半导体情报,
1995,
(06)
:7
-13
[2]
中温BaO-TiO2-Nd2O3系陶瓷的结构和介电性质研究
[J].
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机构:
天津大学电子工程系
张永祥
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机构:
天津大学电子工程系
王洪儒
.
硅酸盐学报,
1993,
(02)
:129
-136
[3]
电子陶瓷材料[M]. 天津大学出版社 , 徐廷献等编著, 1993
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张永祥
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张永祥
;
王洪儒
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王洪儒
.
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