超精密加工向毫微米级精度发展

被引：3

作者：

吴敏镜

机构：

来源：

机械工艺师 | 1997年 / 01期

关键词：

超精密加工; 精度; 精密机床; 金刚石刀具;

D O I：

10.16731/j.cnki.1671-3133.1997.01.003

中图分类号：

TG66 [特种加工机床及其加工];

学科分类号：

080201 ;

摘要：

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