SiON/SiN 太阳电池双层减反膜的性能研究

被引：2

作者：

秦捷

杨银堂

傅俊兴

机构：

[1] 中国科学院西安光学精密机械研究所

[2] 西安电子科技大学微电子研究所

来源：

太阳能学报 | 1997年 / 03期

关键词：

减反膜，SiON薄膜，SiN薄膜，电子回旋共振化学气相淀积;

D O I：

10.19912/j.0254-0096.1997.03.011

中图分类号：

TM914.4 [太阳能电池];

学科分类号：

080502 ;

摘要：

报道了用电子回旋共振化学气相淀积（ＥＣＲＣＶＤ）技术淀积ＳｉＯＮ／ＳｉＮ双层硅太阳电池减反膜的实验研究。用红外吸收谱、俄歇电子谱以及二次离子质谱等实验方法对薄膜的组分、结构、界面过渡区的特性以及膜层中的氢分布进行了分析，实验表明：在制备减反射膜时，要获得较佳的减反效果，应尽量降低淀积温度，增大微波功率。采用ＥＣＲＣＶＤ方法制备的ＳｉＯＮ／ＳｉＮ双层减反膜的平均反射率低于６％（波长范围３００—９００ｎｍ），电池转换效率约提高４５％。

引用

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