应用纳米级金刚石抛光亚纳米级光滑表面

被引：17

作者：

高宏刚

王建明

不详

机构：

[1] 不详

[2] 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春

[3] 不详

[4] 中国科学院北京物理所!北京

[5] 不详

来源：

光学精密工程 | 1999年 / 05期

关键词：

抛光; 纳米; 金刚石; 超光滑;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG580.692 [抛光];

学科分类号：

摘要：

用爆炸法合成的纳米级金刚石是一种新型纳米材料，其物理机械特性与普通亚微米级金刚石微粉有很大差别。我们使用这种材料配制的抛光液对ＹＶＯ４晶体进行了超精密抛光的初步实验，获得了具有较低表面粗糙度（＜１ｎｍ）的表面，发现了纳米金刚石作为抛光材料的独特之处。本文描述了实验结果，分析了抛光表面，并总结了纳米金刚石粉的抛光特性，提出了关于抛光中的材料去除过程的见解

引用

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