一种计算汤逊气体放电参数的 Boltzmann 方程分析法

被引：8

作者：

刘子瑞

邱毓昌

李彦明

机构：

[1] 西安交通大学

来源：

关键词：

气体放电,分析,参数;

D O I：

10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.1998.05.010

中图分类号：

O461 [气体放电（气体导电）];

学科分类号：

0809 ; 080901 ;

摘要：

介绍一种用于计算稳态汤逊条件下气体放电参数的Ｂｏｌｔｚｍａｎｎ方程分析法，在１６９×１０－２１Ｖ·ｍ２≤Ｅ／Ｎ≤４２４×１０－２１Ｖ·ｍ２范围对ＳＦ６和Ｎ２的计算结果与实验测量值吻合，表明了这一算法的有效性。

引用

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