基于MEMS技术微电容压力传感器转换电路的设计

被引：2

作者：

何立志 ^{[1
]}

刘群 ^{[2
]}

机构：

[1] 黑龙江大学物理科学与技术学院

[2] 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院

来源：

黑龙江大学自然科学学报 | 2010年 / 27卷 / 03期

基金：

黑龙江省自然科学基金;

关键词：

传感器; 微电容; 交流激励; 电容-电压转换; 负反馈;

D O I：

10.13482/j.issn1001-7011.2010.03.024

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

在交流激励、电容-电压转换测量方案中,针对测量信号微弱、干扰、温漂大的问题,从测量原理、误差产生、抗杂散性等方面进行了分析,对转换电路中的运算放大器引入了负反馈,并对反馈元件取值进行了研究和实验,得出了实验仿真与调试结果,并给出该电路的误差分析与校正曲线。仿真结果显示,该电路在抗杂散性、抗温漂、提高分辨率和信噪比方面满足设计要求。

引用

页码：407 / 410+416 +416

页数：5

共 4 条

[1] 电容传感器的原理及应用 [J].

蒙文舜 ;

杨运经 ;

刘云鹏 .

现代电子技术, 2003, (07) :78-81

[2] 电容传感器新型微弱电容测量电路 [J].

王雷 ;

王保良 ;

冀海峰 ;

黄志尧 ;

李海青 .

传感技术学报, 2002, (04) :273-277

[3]

叉指式硅微机械加速度计设计与检测技术研究[D]. 张洪震.国防科学技术大学. 2006

[4]

Small Capacitance Measuring Circuit For Capacitive Sensors .2 Apinai Rerkratn. Institute of Technology Ladkrabang Chalongkrung Rd.Ladkrabang. Bangkok.Thailand . 2001

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