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半导体封装技术的发展趋势
被引:17
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
田民波
机构
:
[1]
清华大学材料科学与工程系
来源
:
电子工业专用设备
|
2005年
/ 09期
关键词
:
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN305 [半导体器件制造工艺及设备];
学科分类号
:
080508
[光电信息材料与器件]
;
摘要
:
引用
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