半导体封装技术的发展趋势

被引:17
作者
田民波
机构
[1] 清华大学材料科学与工程系
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TN305 [半导体器件制造工艺及设备];
学科分类号
080508 [光电信息材料与器件];
摘要
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