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相位板衍射图样处理方法的研究
被引：1
作者：
李直
赵洋
李达成
机构：
[1] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京,清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京,清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京
来源：
关键词：
准直技术;
相位板;
图像处理;
衍射图样;
神经网络;
D O I：
暂无
中图分类号：
O436.1 [干涉与衍射];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
分析了准直激光束照明条件下 ,相位板中心偏离准直光束中心对衍射图样的影响 ,并给出了数值仿真结果 ;提出了一种基于多层前馈神经网络的相位板衍射图样处理方法 ,相对于传统的最小二乘曲线拟合处理方法而言 ,精度大为提高。该方法并能适用于包括无衍射光束等复杂图样的细分处理 ,从而为进一步提高大尺度准直精度奠定了基础
引用
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页码：1079 / 1083
页数：5
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