全息光栅干涉法测量曲面形貌的理论研究

被引：9

作者：

蒋向前，李柱，谢铁邦

机构：

[1] 华中理工大学机械工程一系

来源：

关键词：

曲面形貌测量，光栅干涉，柱面全息光栅;

D O I：

10.13245/j.hust.1994.02.013

中图分类号：

TH741.3 [];

学科分类号：

摘要：

基于光栅原理，提出一种可用于任意曲面形貌测量的全息光栅干涉的新方法，给出了光学原理实验系统，系统中采用氦氖激光为光源，反射型柱面全息衍射光栅为标准器，并用计算机软、硬件对光栅信号进行细分处理．实验表明，系统可获得较宽的动态范围和较高的分辨率，可用于测量曲面形貌．

引用

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