浓硼硅腐蚀自停止的研究

被引：3

作者：

陈德英

机构：

[1] 东南大学微电子中心

来源：

半导体技术 | 1998年 / 05期

关键词：

浓硼,硅腐蚀,自停止,EPW腐蚀剂,微机械;

D O I：

10.13290/j.cnki.bdtjs.1998.05.008

中图分类号：

TN304.05 [];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

介绍了ＥＰＷ腐蚀系统浓硼自停止特性及其在微机械加工中的应用。

引用

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页数：3

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