溶胶-凝胶法制备ZrO2缓冲膜的研究

被引：6

作者：

于云

王晓萍

胡行方

机构：

[1] 中国科学院上海硅酸盐研究所!上海

来源：

无机材料学报 | 2000年 / 03期

关键词：

ZrO2; 溶胶-凝胶; 缓冲膜; 热发射率; 互扩散;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

本文用溶胶-凝胶技术，以无机盐氧氯化锆（ZrOCl2·8H2O）为前驱体，在不锈钢表面上制备了含SiO2相的ZrO2缓冲膜，并用真空蒸镀法在其上沉积一层厚度为150nm的金膜．通过XRD、FTIR、SEM及AES等测试手段对ZrO2缓冲膜的性能及其热处理过程中的物理化学变化进行了表征.结果表明；不锈钢箔基体上的四方ZrO2膜在（200）晶面上有择优取向的特点，缓冲膜与基体之间存在着一定程度的互扩散作用．同时，法向热发射率的测试结果表明，850℃热处理后材料仍能保持极低的热发射率（ε=0．043），说明缓冲膜有效地阻挡了金膜与基体之间的高温互扩散作用．

引用

页码：569 / 572

页数：4

共 6 条

[1] 溶胶-凝胶技术制备ZrO2陶瓷膜研究 [J].