双纵模激光作无导轨大尺寸精密测量

介绍一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作方法类似一精密测距仪。它采用了一稳频双纵模激光作为光源，其拍频频率在６００ＭＨｚ～１ＧＨｚ之间，拍频波长为５００～３００ｍｍ，稳定度为１×１０７～１０－８。该系统确定整数倍拍频波长节点的精度为０．０５ｍｍ，测量两节点间距离的分辨率为０．０００１ｍｍ。其测量范围一般为０～２０ｍ，根据需要测量范围可增至４０ｍ。