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纳米、亚微米标准样板及SPM量值溯源
被引：16
作者：
徐毅
高思田
李晶
机构：
[1] 中国计量科学研究院
[2] 中国计量科学研究院 北京
[3] 北京
来源：
关键词：
计量学;
纳米;
亚微米;
溯源系统;
标准样板;
扫描探针显微镜;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB92 [几何量计量];
学科分类号：
0804 ;
080402 ;
摘要：
微电子及纳米技术的发展 ,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高。文中就建立这一量值溯源体系进行探讨 ,包括 :样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起差异的分析等 ,表明了建立纳米、亚微米尺寸计量量值溯源体系的重要性
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