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组合热膜式流速矢量传感器
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作者
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阙瑞义
朱荣
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清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
朱荣
刘鹏
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清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
刘鹏
周兆英
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清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
周兆英
机构
:
[1]
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
来源
:
光学精密工程
|
2011年
/ 19卷
/ 01期
关键词
:
热膜式流速传感器;
流速矢量;
数据融合;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TP212.1 [物理传感器];
学科分类号
:
摘要
:
针对在微型飞行器上测量空气流速矢量的需要,提出了一种比空速管轻巧、比热线式流速传感器抗干扰能力强的微型热膜式流速传感器及其组合系统。与热线式流速传感器相似,热膜流速传感器仅输出电阻值信息,对流速和流向均敏感。将多个传感器按照一定规律组合,可实现对一定角度范围内的流速矢量的测量,从而拓展其应用。结合试验推导了组合传感器测量流速矢量的原理与实现条件,讨论了传感器布置的优化方式并进行了误差分析。传感器特性的实验结果表明,按照45°间隔角布置的3个热膜式流速传感器联合,可以测量180°范围的流速矢量。结合推导与实验,证明组合测量方法可行有效,所占空间和能耗均低于阵列方案,且可推广至其它同类型流速计。
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[1]
全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
[J].
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光学精密工程 ,
2009,
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传感器与微系统,
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柔性翼微型飞行器气动特性的实验研究
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张福星
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朱荣
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清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究
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(06)
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[8]
Gryphon M3 System:Inte-gration of MEMS for Flight Control .2 Huang A,Folk C,Ho C-M,et al. Proc SPIE Vol.4559 . 2001
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[1]
全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
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基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计
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微型热式流速传感器及其在微型飞行器翼表流场测量中的应用
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柔性翼微型飞行器的稳定特性
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基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究
[J].
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
王跃林
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光学精密工程,
2005,
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[7]
微型旋翼飞行器飞行控制系统设计
[J].
张庆
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上海大学机电与自动化学院
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程维明
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光学精密工程,
2001,
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Gryphon M3 System:Inte-gration of MEMS for Flight Control .2 Huang A,Folk C,Ho C-M,et al. Proc SPIE Vol.4559 . 2001
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