共 1 条
128×128 PtSi红外焦平面用硅衍射微透镜阵列的设计与制备
被引：2
作者：
李毅
易新建
陈思乡
机构：
[1] 华中理工大学光电子工程系!武汉
[2] 不详
来源：
关键词：
红外焦平面;
衍射;
微透镜阵列;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN215 [红外探测、红外探测器];
学科分类号：
摘要：
通过考虑互相关联的光学和工艺参数 ,设计了 3～ 5 μm红外 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列 .阵列中微透镜的孔径为 5 0 μm,透镜 F数为 f/ 2 .5 ,微透镜阵列的中心距为 5 0 μm.采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列 .对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论 ,对制备出的 12 8× 12 8硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量 .
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页码：197 / 200
页数：4
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