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纳米X－Y工作台固有频率特性的研究
被引：4
作者：
吴一辉，杨洪波
不详
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
来源：
关键词：
纳米定位，x—y工作台，固有频率特性;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744 [物理光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
从理论和实验西方面对纳米ｘ—ｙ工作台的固有频率特性进行了分析计算和讨论。
引用
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