透明导电氧化物ZnO:Al(ZAO)薄膜的研究

被引:21
作者
裴志亮
谭明晖
陈猛
孙超
黄荣芳
闻立时
机构
[1] 中国科学院金属研究所!沈阳
关键词
ZnO:Al薄膜; 电阻空间分布; 光电性能;
D O I
暂无
中图分类号
O484 [薄膜物理学];
学科分类号
080501 ; 1406 ;
摘要
用磁控反应溅射法制备了ZnO:Al(简称ZAO)薄膜,研究了薄膜方块电阻空间分布的均匀性及微观形貌、并对ZnO:Al薄膜表面各元素的化学状态和深度分布进行了 XPS和 AES分析,同时也讨论了薄膜的光学电学性能
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