共 1 条
[1]
波动光学.[M].[日]久保田广 著;刘瑞祥 译.科学出版社.1983,
非球面干涉测量方法的原理误差分析
被引：2
作者：
高宏
辛企明
李爱民
黄开祥
机构：
[1] 北京理工大学工程光学系
来源：
关键词：
非球面;
测量;
干涉测量;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
在非球面干涉测量中,常用标准球面波作为测量光束,由于入射光线不垂直于被测表面,因此反射波面的波差并不能真实反映被测非球面与顶点球面的偏差,还会引起严重的测量误差。本文从理论上对这一误差进行分析和讨论。
引用
收藏
页码：61 / 64
页数：4
相关论文