滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X-Y工作台定位精度的研究

被引：19

作者：

袭著燕

路长厚

郭涛

张建川

机构：

[1] 山东大学机械工程学院,山东大学机械工程学院,山东大学机械工程学院,山东大学机械工程学院济南,济南,济南,济南

来源：

关键词：

X-Y工作台; 激光多普勒测量仪; 螺距误差; 定位精度;

D O I：

10.13433/j.cnki.1003-8728.2004.07.016

中图分类号：

TH132.4 [啮合传动];

学科分类号：

082805 [农业机械化与装备工程];

摘要：

在详细论述了激光多普勒测量仪的原理及测量方法后 ,对滚珠丝杠螺距误差的情况进行了分析 ,通过软硬结合的方法对重复定位误差和螺距误差的补偿进行了研究 ,并且通过实验验证了方法的有效性

引用

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