利用等效层的消偏振宽带减反膜设计

被引：13

作者：

马小凤 ^{[1
]}

王丹 ^{[2
]}

刘定权 ^{[1
]}

陈刚 ^{[1
]}

张凤山 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料研究室

[2] 中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜研发中心

来源：

光学学报 | 2007年 / 03期

关键词：

光学薄膜; 消偏振; 等效层; 减反膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

分析了倾斜入射条件下导致光学薄膜产生偏振的原因,针对不同偏振态的等效导纳与等效相位进行了分析,并计算了对称膜层在45°入射条件下不同偏振态的等效折射率与等效相位厚度,采用等效层方法设计了光学性能良好的600～900 nm波段消偏振宽带减反膜。最后利用电子束蒸发技术制备了薄膜样品,样品的光谱性能完全能够满足使用要求。其中在600～900 nm波段范围内,平均反射率均小于1．38%,反射率的偏振度均低于0．89%。另外,通过对其理论及实验光学性能、角度敏感性、膜层厚度误差敏感性等方面的分析结果可知,对称膜层组合法是设计消除倾斜入射下宽带减反膜偏振效应的一种行之有效的方法。

引用

页码：563 / 566

页数：4

共 4 条

[1] 用于投影显示的分色合色膜系的消偏振设计 [J].