利用自制电容测量微小位移

被引:3
作者
曾育锋
机构
[1] 华南师范大学物理与电信工程学院
关键词
自制电容; 微小位移; 单片机集成电路;
D O I
10.16791/j.cnki.sjg.2009.07.017
中图分类号
TP274 [数据处理、数据处理系统];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;
摘要
利用电容的容量变化来测量微小的位移变化,这是一种普通的手段,大部分都利用差分电容,而差分电容在市场上是很难买到的。文章利用自制电容实现了对微小位移的测量,精度达到0.0001 mm;自制的电容传感器的温度稳定性好,结构简单,动态响应好,可实现非接触测量。
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