共 2 条
[1]
硅微型惯性器件理论及应用.[M].王寿荣编著;.东南大学出版社.2000,
[2]
新型传感器技术及应用.[M].刘广玉等 编著.北京航空航天大学出版社.1995,
MEMS概况及发展趋势
被引：226
作者：
张威
张大成
王阳元
机构：
[1] 北京大学微电子所,北京大学微电子所,北京大学微电子所北京,北京,北京
来源：
关键词：
微电子机械系统;
微传感器;
微执行器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH706 [制造工艺];
学科分类号：
080201 [机械制造及其自动化];
摘要：
主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。
引用
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