燃焰法沉积金刚石薄膜的实验研究

被引：8

作者：

黄树涛，姚英学，陈朔冬，张宏志，袁哲俊

不详

机构：

[1] 哈尔滨工业大学

来源：

关键词：

燃焰法，金刚石薄膜，化学气相沉积;

D O I：

暂无

中图分类号：

TQ164.8 [人造金刚钻];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

研究分析了燃焰法沉积金刚石薄膜时基片表面处理状态、燃烧气体流量比（Ｏ２／ＣＨ２）、基片温度对薄膜成核密度、质量和晶体形态的影响。结果表明，在不同粒度的研磨粉研磨的基片表面上金刚石薄膜成核密度不同；燃烧气体流量配比对金刚石薄膜的质量影响很大；基片温度是影响金刚石薄膜晶体形态的一个重要因素。

引用

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