共 1 条
[1]
J.M.Elson et al. Applied Optics . 1983
超光滑基片表面均方根粗糙度的测量
被引：2
作者：
杨开勇
龙兴武
刘照世
付文羽
机构：
[1] 国防科大应用物理系!长沙
来源：
关键词：
积分散射仪;
积分球;
表面粗糙度;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN247 [光检测技术];
学科分类号：
0803 ;
080401 ;
080901 ;
摘要：
探讨根据测量的总积分散射定标得到表面均方根粗糙度的问题。利用基片的表面模型和积分球本身的结构特征，对测量的表面有效均方根粗糙度进行修正，得到的表面均方根粗糙度与进口表面测量仪测量得的值相差为０．１ｎｍ 左右。
引用
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页码：349 / 352
页数：4
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