纳米精度外差式激光干涉仪非线性误差修正方法研究

被引：9

作者：

黎永前

李晓莹

朱名铨

机构：

[1] 西北工业大学机电工程学院,西北工业大学机电工程学院,西北工业大学机电工程学院西安,大连理工大学微系统研究中心大连,西安,西安

来源：

仪器仪表学报 | 2005年 / 05期

关键词：

外差干涉; 非线性误差; 误差修正; 混频;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2005.05.027

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

提出一种外差干涉非线性误差修正方法,采用混频技术将光频信号降低到通用数据采集系统频率响应范围内;采用高速数据采集板实现外差干涉测量信号和参考信号双通道同步实时采集;对采集数据进行光滑处理,滤除高阶非线性误差;解出位移量对应的相位差。试验结果表明,所提出的修正方法可以较好地修正双频激光干涉仪中存在的非线性误差,使外差干涉仪测量不确定度由原来的20nm降低到10nm。

引用

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